無論是哪種真空鍍膜機(jī)鍍制的薄膜，其均勻性都會遭到某種要素影響，如今咱們就磁控濺射真空鍍膜機(jī)來看看形成不均勻的要素有哪些。

   磁控濺射真空鍍膜機(jī)的運作即是經(jīng)過真空狀況下正交磁場使電子炮擊氬氣構(gòu)成的氬離子再炮擊靶材，靶材離子堆積于工件外表成膜。如此咱們能夠思考與膜層厚度的均勻性有關(guān)的有真空狀況、磁場、氬氣這三個方面。

   真空狀況就需要抽氣體系來操控的，每個抽氣口都要一起開動并力度共同，這么就能夠操控好抽氣的均勻性，假如抽氣不均勻，在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了，壓強(qiáng)對離子的運動是存在必定的影響的。另外抽氣的時刻也要操控，太短會形成真空度不夠，但太長又浪費資源，不過有真空計的存在，要操控好仍是不成問題的。

   磁場是正交運作的，但你要把磁場強(qiáng)度做到百分之一百均勻是不可能的，通常磁場強(qiáng)的地方，成膜厚度就大，相反就小，所以會形成膜層厚度的不共同，不過在生產(chǎn)過程中，因為磁場的不均勻?qū)е碌哪硬痪鶆虻臓顩r卻不是常見的，為何呢?本來磁場強(qiáng)弱盡管不好操控，但一起工件也在一起工作，而且是靶材原子屢次堆積才會結(jié)束鍍膜工序，在一段時刻內(nèi)盡管某些部位厚，某些部位薄，但另一個時刻內(nèi)，磁場強(qiáng)的效果下在本來薄的部位堆積上厚的，在厚的部位堆積上薄的，如此屢次，全部膜層終究成膜后，均勻性仍是比較不錯的。

   氬氣的送氣均勻性也會對膜層的均勻性發(fā)生影響，原理本來和真空度差不多，因為氬氣的進(jìn)入，真空室內(nèi)壓強(qiáng)會發(fā)生改變，均勻的壓強(qiáng)巨細(xì)能夠操控成膜厚度的均勻性。

   盡管老是會有那么幾種要素形成膜層的不均勻，但假如準(zhǔn)確的把真空鍍膜機(jī)的操作做到位了，那么膜層的合格率是很高的。m.oday.cc